[发明专利]一种基于柔性螺旋电感结构的风速传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811424353.9 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109283358B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 易真翔;万煜;邓文俊;王立峰 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 施昊 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于柔性螺旋电感结构的风速传感器及制造方法。本发明所述的基于柔性螺旋电感结构的风速传感器包括聚对苯二甲酸类（PET）衬底，螺旋电感线圈，位于所述PET衬底上表面，螺旋电感接触块与螺旋电感线圈两端连接，金属连接线，位于PET衬底中并贯穿衬底，位于衬底下表面且与螺旋电感接触块正对应的接触块，位于衬底下表面的金属导线,位于衬底下表面边缘处、连接下表面金属导线的测试接触块。同时还公开基于柔性螺旋电感结构的风速传感器的制备方法。此结构利用柔性电感在不同风速时产生弯曲应变下电感值的变化，使风速与电感值之间存在对应关系。本发明的风速传感器结构轻便，响应速度快，电感自身热损耗小，降低了传感器功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 螺旋 电感 结构 风速 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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