[发明专利]真空计在审
| 申请号： | 201811425237.9 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109974929A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 岸田创太郎;山下圭裕;中井淳也 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01L19/06 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空计，即使感测机构暴露在导入了各种材料气体的气氛的情况下，也能够防止物质向所述感测机构堆积，能够实现长寿命化。所述真空计包括：感测机构，与测量空间内的气氛接触，输出与所述测量空间内的压力对应的输出信号；以及加热器，对所述感测机构进行温度调节，所述加热器的设定温度可变。 | ||
| 搜索关键词： | 感测机构 真空计 加热器 测量空间 材料气体 输出信号 温度调节 温度可变 长寿命 堆积 输出 暴露 | ||
【主权项】：
1.一种真空计，其特征在于，所述真空计包括：感测机构，与测量空间内的气氛接触，输出与所述测量空间内的压力对应的输出信号；以及加热器，对所述感测机构进行温度调节，所述加热器的设定温度可变。
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