[发明专利]一种薄膜滤光片的低温制备方法

摘要

本发明公开了一种采用真空镀膜机的薄膜滤光片的低温制备方法，通过在薄膜材料蒸发源和滤光片工件架之间、并紧靠滤光片工件架处设置一对电极，在真空蒸发薄膜材料时，对电极施加交流高电压：频率为50Hz、电压为3.2～3.6KV。薄膜材料由高折射率材料硫化锌和低折射率材料冰晶石组成，并分别由电子束蒸发源和电阻加热蒸发源实施蒸发。电极由两个半圆的纯铝环组成，并分别设置在工件架下方构成一个彼此绝缘的近似圆环，圆环大小视滤光片工件架大小而异。这种方法适用于对高温敏感而必须采用低温淀积的各种基底制备减反射膜、高反射膜、分束膜、偏振膜、消偏振膜、截止滤光片和带通滤光片等薄膜滤光片。

主权项

1.一种薄膜滤光片的低温制备方法，其特征在于，采用真空镀膜机，包括：真空室、设置在所述真空室内的滤光片工件架以及设置在所述真空室内的薄膜材料蒸发源；其特征在于，所述的薄膜材料蒸发源和滤光片工件架之间并紧靠所述滤光片工件架处设置有一对电极，所述的一对电极与设置在所述真空室外的交流高电压源电连接；该方法包括以下步骤：1)当镀膜基底为对高温敏感而必须采用低温制备的材料，高温为100～350℃，低温为30℃～70℃，将镀膜基底安装在滤光片工件架上，选用冰晶石Na3AlF6作为低折射率材料，选用硫化锌ZnS作为高折射率材料；2)通过电阻加热蒸发源和电子束蒸发源蒸发在镀膜基底上制备低折射率膜层和高折射率膜层，在制备过程中，交流高电压源为一对电极提供交流高电压，所述的交流高电压的频率为40Hz～60Hz、电压为3.2～3.6KV，完成薄膜滤光片的制备。