[发明专利]银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法有效
| 申请号： | 201811428355.5 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110295367B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 金炼卓;金镇成 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种银薄膜蚀刻液组合物，并且提供一种银薄膜蚀刻液组合物、利用所述银薄膜蚀刻液组合物的蚀刻方法及形成金属图案的方法，其特征在于，所述银薄膜蚀刻液组合物包含：(A)无机酸；(B)含硫(S)酸；(C)不含氮有机酸；(D)分子内含有一个氢原子的磷酸盐(Phosphate)；以及(E)水。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 方法 金属 图案 形成 | ||
【主权项】：
1.一种银薄膜蚀刻液组合物，包含：无机酸；含硫酸；不含氮有机酸；分子内含有一个氢原子的磷酸盐；以及水。
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