[发明专利]基板对位方法有效
| 申请号： | 201811428471.7 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109581833B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 胡立巍;叶人豪;王载忠 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板对位方法。该基板对位方法通过在位于光罩上的第一对位标识上预设一反光干扰识别区域，接着移动基板使位于基板上的第二对位标识至第一对位标识的下方，且该第二对位标识位于所述反光干扰识别区域的外部，图像传感器聚焦第一对位标识进行识别，在识别过程中可以避免第二对位标识的反光干扰，从而准确得到第一对位标识的位置，不需要修改对位设备结构，只需要对对位设备的对位逻辑进行变更即可有效避免基板上的第二对位标识的反光干扰影响对位的准确性，提高识别位于光罩上的第一对位标识的准确性和成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板对位方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、移动图像传感器至位于光罩(10)上的第一对位标识(11)的上方，并在第一对位标识(11)上预设一反光干扰识别区域(12)；步骤S2、移动基板(20)使位于基板(20)上的第二对位标识(21)至光罩(10)上的第一对位标识(11)的下方，且该第二对位标识(21)位于所述反光干扰识别区域(12)的外部；步骤S3、图像传感器聚焦第一对位标识(11)进行识别，得到第一对位标识(11)的位置；步骤S4、移动基板(20)使第二对位标识(21)处于所述反光干扰识别区域(12)的内部，图像传感器聚焦第二对位标识(21)进行识别，得到第二对位标识(21)的位置；步骤S5、根据第一对位标识(11)的位置与第二对位标识(21)的位置将基板(20)与光罩(10)进行对位，使第二对位标识(21)的正投影与第一对位标识(11)的正投影重叠。
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