[发明专利]显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统及蒸镀掩膜板在审
| 申请号： | 201811429241.2 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109402560A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 李朝 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统，包括︰坩埚，在所述坩埚周围设置有下冷却管，所述下冷却管内设置有冷却液以抑制所述坩埚散发的热；蒸镀掩膜板，设置在所述坩埚上方，所述蒸镀掩膜板内设置有掩膜冷却管，掩膜冷却管内设置有冷却液以用于对所述蒸镀掩膜板进行冷却；玻璃基板，设置在所述蒸镀掩膜板上方；以及磁板，设置在所述玻璃基板上方，以磁力磁吸所述蒸镀掩膜板以使所述玻璃基板被夹持固定在所述蒸镀掩膜板与所述磁板之间，所述磁板内设置有上冷却管，所述上冷却管内设置有冷却液以用于对所述磁板进行冷却。上述掩膜冷却管可有效对所述蒸镀掩膜板进行散热并且避免玻璃基板温度升高。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 掩膜板 冷却管 玻璃基板 磁板 坩埚 冷却液 掩膜 冷却系统 显示面板 掩膜组件 冷却 夹持固定 磁力 散热 磁吸 散发 | ||
【主权项】：
1.一种显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统，用于对蒸镀掩膜组件进行散热，其中，所述蒸镀掩膜组件包括：蒸镀掩膜板、设置在所述蒸镀掩膜板上方的玻璃基板、以及设置在所述玻璃基板上方的磁板；其特征在于，所述显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统包括：掩膜冷却管，设置在所述蒸镀掩膜板内，所述掩膜冷却管内设置有冷却液以用于对所述蒸镀掩膜板进行冷却。
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