[发明专利]基板搬出装置在审

专利信息
申请号: 201811430289.5 申请日: 2018-11-27
公开(公告)号: CN109836035A 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 西尾仁孝;高松生芳;上野勉 申请(专利权)人: 三星钻石工业股份有限公司
主分类号: C03B33/03 分类号: C03B33/03
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 刘影娜
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供能够高效地从基板载置部去除基板的端材的基板搬出装置。基板搬出装置(1)具有:基板载置部(2),其载置有在规定方向上被分割的基板;驱动部(400),其使基板载置部(2)在水平位置与从水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动;以及搬出部(300),其按照每个分割单元搬出基板(F)。另外,基板搬出装置(1)的特征在于,其具有控制部(40),控制部(40)在通过搬出部(300)搬出基板(F)的全部分割单元后,通过驱动部(400)使基板载置部在倾斜位置倾斜,使基板(F)的端材(R)从基板载置部(2)落下。
搜索关键词: 基板 基板载置部 搬出装置 分割单元 倾斜位置 搬出部 搬出 端材 驱动 落下 去除 载置 分割 移动
【主权项】:
1.一种基板搬出装置,其特征在于,所述基板搬出装置具有:基板载置部,其载置有基板;驱动部,其使所述基板载置部在水平位置与从所述水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动;以及搬出部,其搬出所述基板。
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