[发明专利]一种钛-硼-氮化合物粉末制备装置及方法

摘要

本发明涉及一种钛‑硼‑氮化合物粉末制备装置及方法。所述装置由BCl3、H2和N2三种气体进气阀，真空电炉和排气口组成，驱体钛粉末置于真空电炉内。通过控制三种气体和前驱体钛粉末的化学反应方法获得钛‑硼‑氮化合物粉末。该方法涉及的化学反应方程式如下：2BCl3→2[B]+3Cl2，2BCl3+3H2→2[B]+6HCl，N2→2[N]，Ti+x[B]+y[N]→TiBxNy，合成的Ti‑B‑N为非化学计量化合物，成分可变，其中x＝0.01‑2.6；y＝0.1‑0.99。合成装置结构简单，制造成本低，工艺简单，容易操作，合成产物纯度高。适合批量生产。

主权项

1.一种钛‑硼‑氮化合物粉末制备装置，其特征在于，包括：BCl₃、H₂和N₂三种气体进气阀、电炉和真空泵；所述电炉为真空电热炉，电炉密封与外界空气隔绝，其上设有炉门、出气口和进气口，钛粉末放在电炉内，所述三种气体进气阀设在进气管道上，包括：三氯化硼气体控制阀门Ⅰ、氢气控制阀门Ⅱ、三氯化钛和氢气混合气体控制阀门Ⅲ和氮气控制阀门Ⅳ，所述三氯化钛气体和氢气分别通过阀门Ⅰ和阀门Ⅱ进行混合，然后通过阀门Ⅲ进入电炉，所述氮气通过阀门Ⅳ进入电炉，废气从电炉的出气口排出，所述真空阀控制电炉内真空，通过真空泵排出炉内空气，保持真空。