[发明专利]一种提高高纯氯化氢中特殊杂质检测灵敏度的方法

摘要

本发明涉及高纯气体杂质检测领域，具体关于一种提高高纯氯化氢中特殊杂质检测灵敏度的方法；本发明方法公开的一种提高高纯氯化氢中特殊杂质检测灵敏度的方法，本方法使用并联的两根色谱柱，并且使用独立控温的柱箱，能够保证两根并联色谱柱分别所处的柱温，对各自分离的组分有利；由氦离子检测器对痕量杂质进行检测，检测限可低至1‑10ppb。此外，使用了一种高纯氯化氢色谱分析专用填料和纳米二氧化钛修饰毛细管柱，有利于电子级氯化氢中的痕量杂质的分离，本方法用氦离子检测器对氯化氢进行检测分析，灵敏度高，检测限低，杂质组分响应都呈线性，气路流程经过设计后，可以一次进样满足电子级氯化氢气体所有杂质分析需要。

主权项

1.一种提高高纯氯化氢中特殊杂质检测灵敏度的方法，其技术方案如下：所述的一种提高高纯氯化氢中特殊杂质检测灵敏度的方法通过对色谱进样系统、流量系统和检测器的改造实现，所述的进样系统包括样品入口、样品出口、定量管、载气入口和载气出口；六个管口逆时针方向依次排列均匀分布于同一圆周上，并且与六通阀相匹配；所述的流量系统为一种色谱柱并联分析流量系统；其包括一个进样管以及与之相连的两个并联的进样阀以及安装在进样阀之后的色谱柱组成；所述的两个色谱柱分别处于不同的控柱箱中，可以各自调节温度；其特征在于所述的色谱柱分别为填料柱和毛细管柱，使用的填料为高纯氯化氢色谱分析专用填料，所述的毛细管柱为纳米二氧化钛修饰毛细管柱。