[发明专利]一种基于菲涅尔波带片的多波径向剪切干涉仪

摘要

本发明提出一种基于菲涅尔波带片的多波径向剪切干涉仪，由一个菲涅尔波带片和一个图像探测器组成，待测光束入射到菲涅尔波带片，由于波带片有多个焦点，经过菲涅尔波带片的衍射，形成多束光，多束光传播一段距离后，由于各光束的孔径不同，形成径向剪切干涉，干涉条纹被图像探测器记录。通过单幅干涉图即可提取相位差，利用波前复原算法重构待测波前畸变信息，调整图像探测器到波带片的距离可以调整测量的动态范围。本发明仅使用一个菲涅尔波带片和一个图像探测器即可实现波前测量，结构简单、稳定可靠，适用于瞬态波前和大动态范围波前检测。