[发明专利]基体的表面涂层及其制备方法在审
申请号: | 201811432996.8 | 申请日: | 2018-11-28 |
公开(公告)号: | CN109778117A | 公开(公告)日: | 2019-05-21 |
发明(设计)人: | 汪爱英;魏菁;李汉超;陈仁德;张栋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/32 |
代理公司: | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人: | 李丽华 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种基体的表面涂层及其制备方法。所述表面涂层通过磁过滤阴极真空弧沉积方法制备得到,包括多个依次且相互交替设置的第一非晶碳层和第二非晶碳层,所述第一非晶碳层中的sp3杂化的碳原子含量为10%~45%,所述第二非晶碳层中的sp3杂化的碳原子含量为60%~85%。本发明的表面涂层能够在高腐蚀的环境中对基体进行有效防护。 | ||
搜索关键词: | 表面涂层 非晶碳层 制备 碳原子 杂化 磁过滤阴极真空弧沉积 交替设置 高腐蚀 防护 | ||
【主权项】:
1.一种基体的表面涂层,其特征在于,所述表面涂层包括多个依次且相互交替设置的第一非晶碳层和第二非晶碳层,所述第一非晶碳层中的sp3杂化的碳原子含量为10%~45%,所述第二非晶碳层中的sp3杂化的碳原子含量为60%~85%。
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