[发明专利]一种准分子激光器电极结构及准分子激光器

摘要

本发明提供的准分子激光器电极结构及准分子激光器，可以通过阳极高度的精确调节来抵消激光器长期工作后因阳极消耗而导致放电间距增大的问题，从而保证放电区间不产生改变。支持受损阳极的反复维修，在保证激光器输出性能一致的前提下，大大提高的阳极的使用寿命，节约了激光器的运行成本，并且阳极高度是可调的，因此可以精确控制电极间距，可以适用于不同注入能量的电源，通过调整阳极的高度，获得不同的放电体积，使激光器工作在准分子激光器最佳注入功率密度的条件下，从而获得更高效率的激光输出。同样，本发明可以用于研究准分子激光器的最佳功率密度，以及确认准分子激光器最佳电极间距的研究。

主权项

1.一种准分子激光器电极结构，其特征在于，包括阳极、阴极、用于支撑所述阳极的导电支撑结构、用于支撑所述阴极的绝缘件、腔壁、所述绝缘件设置在所述腔壁上，所述阴极和所述阳极相对设置，所述阴极与所述腔壁具有绝缘间隔，所述导电支撑结构与所述腔壁电性连接，所述阳极具有安装座，所述安装座与所述导电支撑结构采用面面贴合的方式连接，通过面面之间相对滑动调整所述安装座与所述导电支撑结构之间的位置，进而完成所述阳极和所述阴极之间的间隙距离。