[发明专利]一种输出均匀偏振光的微型激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811441715.5 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109346922B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 张祥伟;马群;陈玉娇;陶禹 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种输出均匀偏振光的微型激光器及其制备方法，激光器包括P面电极、P面分布布拉格反射镜、N面分布布拉格反射镜、衬底层和N面电极，所述P面分布布拉格反射镜表面制作有亚波长的金属光栅，金属光栅与P面电极相连，金属光栅的周期小于垂直腔面发射激光器的波长；所述衬底层表面为球面；衬底层朝向N面电极的一侧刻蚀有DOE层。本发明无需光束整形系统，只需要通过工艺设计以及利用器件本身的特性，即可输出平顶的偏振光，此激光器结构简单、体积紧凑微小，造价低廉，可以高度集成在某些设备中，具有非常重要的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输出 均匀 偏振光 微型 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种输出均匀偏振光的微型激光器，包括P面电极（2）、P面分布布拉格反射镜（5）、N面分布布拉格反射镜（9）、衬底层（11）和N面电极（12），其特征在于：所述P面分布布拉格反射镜（4）表面制作有亚波长的金属光栅（1），金属光栅（1）与P面电极相连，金属光栅（1）的周期小于垂直腔面发射激光器的波长；所述衬底层（11）表面为球面；衬底层（11）朝向N面电极（12）的一侧刻蚀有DOE层（13）。
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