[发明专利]一种可检真空度的真空玻璃及系统有效
| 申请号： | 201811442545.2 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109665725B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 王磊;孔延梅;焦斌斌;李博;赵发展;韩郑生;罗家俊;刘新宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C03C27/10 | 分类号： | C03C27/10;G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种可检真空度的真空玻璃及系统，所述真空玻璃包括：第一平板玻璃、第二平板玻璃、封口片和真空计；所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃相对设置，所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间的边部设置有真空密封，所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间形成真空腔体，所述第一平板玻璃上设置有抽气口，所述抽气口上覆盖有封口片，所述真空计设置在所述真空腔体中，所述真空计上设置有用于将真空计的测量数据发送至所述真空腔体外的传输单元。本发明解决了真空玻璃的真空度检测存在对产品自身、及检测环境的要求较为苛刻，难以对真空玻璃的真空度实现批量的快速在线检测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 玻璃 系统 | ||
【主权项】：
1.一种可检真空度的真空玻璃，其特征在于，包括：第一平板玻璃、第二平板玻璃、封口片和真空计；所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃相对设置，所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间的边部设置有真空密封，所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间形成真空腔体，所述第一平板玻璃上设置有抽气口，所述抽气口上覆盖有封口片，所述真空计设置在所述真空腔体中，所述真空计上设置有用于将真空计的测量数据发送至所述真空腔体外的传输单元。
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