[发明专利]一种互补型结构的太赫兹超材料传感器

摘要

本发明提供了一种互补型的太赫兹波段超材料传感器。该传感器括介质层和介质层上依附的亚波长金属阵列的超材料，亚波长金属阵列包含被挖空的一个竖直空气条和两个水平空气条，与金属层形成了互补结构。每个所述竖直空气条置于结构单元中心，所述的两个水平空气条分别位于竖直空气条的两侧，右侧空气条相对于左侧水平空气条有向下40‑45μm的平移。通过右侧水平空气条的平移，打破了结构的对称性，实现了类EIT效应。又由于互补结构的实现，使其器件的Q值和传感性能大大提高。实现了400GHz‑900GHz频率范围内的高灵敏的折射率传感。

主权项

1.一种互补型结构的太赫兹超材料传感器，可用于微量液体的检测中，其特征在于，包括：介质层和附在所述介质层上的亚波长金属层，所述介质层用于支撑金属层，形成谐振腔，所述亚波长金属层上设置有超材料的亚波长金属阵列，超材料的作用在于利用其对外界环境敏感的特性，用于对折射率的传感；所述亚波长金属层的阵列包含在金属层上被挖空的一竖直空气条(1)和两水平空气条(2)，两水平空气条(2)分别为左侧空气条和右侧空气条，所述竖直空气条处于金属层的中心位置，所述两个水平空气条分别位于竖直空气条的两侧，右侧空气条相对于左侧空气条有向下40.0‑45.0μm的平移，形成非对称结构，明模诱导明暗模发生强耦合，产生了尖锐的透射峰，实现了类EIT效应，由于空气条是在金属层上被挖空形成的，所以竖直空气条(1)和两水平空气条(2)与亚波长金属层形成了互补结构。