[发明专利]基板缺陷检测装置和镀膜设备在审
| 申请号： | 201811447627.6 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109494167A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 高军召 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 曾章沐 |
| 地址： | 100176 北京市北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其是涉及一种基板缺陷检测装置和镀膜设备。基板缺陷检测装置包括第一检测装置、第二检测装置、输送装置和移动装置；输送装置带动基板从第一端到第二端；第一检测装置在第一端，检测基板与输送方向平行的侧边上的缺陷；移动装置与第二检测装置连接；第二检测装置，检测基板与输送方向垂直的侧边上的缺陷。本发明通过在输送装置的两侧第一检测装置，在输送装置的第一端和第二端设置第二检测装置，两个第一检测装置和两个第二检测装置共同配合，完成对基板的四个边的检测，确保有缺陷基板不会进入下一工序，保证了正常作业。 | ||
| 搜索关键词： | 第二检测 检测装置 输送装置 基板缺陷检测装置 第一端 基板 镀膜设备 移动装置 检测 太阳能电池技术 方向垂直 方向平行 缺陷基板 正常作业 装置连接 对基板 配合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基板缺陷检测装置，其特征在于，包括第一检测装置、第二检测装置、输送装置和移动装置；所述输送装置用于带动基板从第一端输送到第二端；所述第一检测装置设置在所述第一端，用于检测所述基板与输送方向平行的侧边上的缺陷；所述移动装置与所述第二检测装置连接，用于带动所述第二检测装置在垂直于所述输送方向的方向上从所述输送装置的一端移动至所述输送装置的另一端；所述第二检测装置，用于检测所述基板与输送方向垂直的侧边上的缺陷。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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