[发明专利]光学发射光谱仪及其运行方法和应用有效
申请号: | 201811449340.7 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109870235B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | A·威兹格;M·范斯图耶文伯格;R·西蒙斯 | 申请(专利权)人: | 布鲁克AXS有限公司 |
主分类号: | G01J3/443 | 分类号: | G01J3/443;G01J3/36;G01N21/63 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 程猛 |
地址: | 德国卡*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种光学发射光谱仪,其包括:激发装置;用于光谱分解由激发样品发出的光的色散元件;光电二极管,其设置为能够借助不同光电二极管检测所发出的分解的光的不同的光谱分量;用于光电二极管的读取电子器件,读取电子器件具有电荷存储器组件,其包括多个单独的电荷存储器,它们能以级联方式彼此互连,使得从所属的光电二极管流入的电荷依次填充电荷存储器,借助于读取电子器件能够读取电荷存储器组件的各个电荷存储器的电荷和/或电荷存储器组件的电荷存储器的子集的电荷。本发明的光学发射光谱仪是可普遍适用的并且借助它简化了光谱线的强度比的确定。本发明还涉及一种用于运行光学发射光谱仪的方法和一种光学发射光谱仪的应用。 | ||
搜索关键词: | 光学 发射 光谱仪 及其 运行 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种光学发射光谱仪(1),其包括:用于待检查样品(3)的激发装置(2);用于光谱分解由激发的样品(3)发出的光(5)的色散元件(7);多个光电二极管(P1‑Pn、P1i‑Pni),所述光电二极管设置为,使得能够借助不同的光电二极管(P1‑Pn、P1i‑Pni)检测所发出的、分解的光(5)的不同的光谱分量(S1‑Sn);和多个用于光电二极管(P1‑Pn、P1i‑Pni)的读取电子器件(22),其特征在于,相应的读取电子器件(22)具有电荷存储器组件(23),电荷存储器组件包括多个单独的电荷存储器(31‑34),其中,电荷存储器(31‑34)能够以级联方式彼此互连,使得从所属的光电二极管(P1‑Pn、P1i‑Pni)流入的电荷依次填充电荷存储器(31‑34),并且借助于相应的读取电子器件(22)能够读取电荷存储器组件(23)的各个电荷存储器(31‑34)的电荷和/或电荷存储器组件(23)的电荷存储器(31‑34)的子集的电荷。
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