[发明专利]一种一体化电极及在等离子体增强化学气相沉积设备中的应用

摘要

本发明涉及真空镀膜领域，公开了一种应用于等离子体增强化学气相沉积设备(PECVD)中的一体化电极，主要是由电极气盒与电极基座两部分组成。一体化电极气盒可以在实现气场均匀性的同时防止电极板间产生寄生辉光，基座主要起固定电极和屏蔽绝缘的作用。本发明在保证薄膜沉积质量和均匀性的同时，解决了传统电极容易在极板间产生寄生辉光的问题。本电极制备方法简单、易控，可实现大量、低成本制备。