[发明专利]具有转轴驱动组件的多自由度样品杆有效
申请号: | 201811450211.X | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN111257355B | 公开(公告)日: | 2021-04-27 |
发明(设计)人: | 王宏涛;张奕志 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04;H01J37/20 |
代理公司: | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人: | 杜放 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有转轴驱动组件的多自由度样品杆,包括外壳和转轴,外壳和转轴之间设有至少一组转轴驱动组件,每一组转轴驱动组件包括两个对称设置的驱动单元,驱动单元包括基板,电极和压电陶瓷片。通过设置多组转轴驱动组件,使转轴能够自转和轴向移动,实现样品杆多自由度的驱动。 | ||
搜索关键词: | 具有 转轴 驱动 组件 自由度 样品 | ||
【主权项】:
暂无信息
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