[发明专利]一种辅助显影版图制作方法有效
申请号: | 201811450862.9 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109802643B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 孙昭苏;吴庄飞;韦鹏;徐彬;夏明超 | 申请(专利权)人: | 无锡市好达电子股份有限公司 |
主分类号: | H03H3/08 | 分类号: | H03H3/08;H03H9/02 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214124 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种辅助显影版图制作方法,属于滤波器制作领域。该方法包括根据声表面波滤波器的原版图确定辅助显影版图,所述辅助显影版图上设置有对应叉指换能器的电极、空白区域和引线电极;在所述辅助显影版图上,在所述叉指换能器的电极的周围增加实方体垫片,所述实方体垫片布满所述叉指换能器的周围,且所述实方体垫片与所述叉指换能器的反射栅之间的距离为所述叉指换能器的周期的二分之一;解决了现有的显影版图容易令显影液反应速率不同的问题,达到了令喷射显影液后各个区域的反应速率相同,提高产品的一致性,改善产品性能,提高产品质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 辅助 显影 版图 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种辅助显影版图制作方法,其特征在于,所述方法包括:根据声表面波滤波器的原版图确定辅助显影版图,所述辅助显影版图上设置有对应叉指换能器的电极、空白区域和引线电极;在所述辅助显影版图上,在所述叉指换能器的电极的周围增加实方体垫片,所述实方体垫片布满所述叉指换能器的周围,且所述实方体垫片与所述叉指换能器的反射栅之间的距离为所述叉指换能器的周期的二分之一。
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