[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和控制板在审
| 申请号： | 201811451481.2 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110004413A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 山下和吉;末永真吾;滨永教彰 | 申请（专利权）人： | 长州产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供蒸镀装置、蒸镀方法和控制板。所述蒸镀装置设计成能形成膜厚均匀性高且阴影少的蒸镀膜、对大型基板也能够进行良好的蒸镀。所述蒸镀方法使用所述蒸镀装置，所述控制板能进行所述的蒸镀。本发明的蒸镀装置包括蒸镀源，所述蒸镀源具有配置成直线状并喷射蒸镀材料的多个喷射喷嘴，上述多个喷射喷嘴包括：一对内侧喷射喷嘴，具有朝相对的方向倾斜的开口面；以及一对外侧喷射喷嘴，分别配置在上述一对内侧喷射喷嘴的外侧，具有朝向外侧倾斜的开口面，上述蒸镀源还具有控制板，上述控制板配置在上述一对内侧喷射喷嘴之间，控制喷射的蒸镀材料的分布。 | ||
| 搜索关键词： | 喷射喷嘴 蒸镀装置 蒸镀 控制板 蒸镀源 蒸镀材料 开口面 喷射 配置 膜厚均匀性 大型基板 方法使用 外侧倾斜 蒸镀膜 直线状 阴影 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括蒸镀源，所述蒸镀源具有配置成直线状并喷射蒸镀材料的多个喷射喷嘴，所述多个喷射喷嘴包括：一对内侧喷射喷嘴，具有朝相对的方向倾斜的开口面；以及一对外侧喷射喷嘴，分别配置在所述一对内侧喷射喷嘴的外侧，具有朝向外侧倾斜的开口面，所述蒸镀源还具有控制板，所述控制板配置在所述一对内侧喷射喷嘴之间，控制喷射的蒸镀材料的分布。
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