[发明专利]蒸镀装置和蒸镀方法在审
| 申请号： | 201811453479.9 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109989000A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 山下和吉;末永真吾;滨永教彰 | 申请（专利权）人： | 长州产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供设计成能形成膜厚均匀性高且阴影少的蒸镀膜的蒸镀装置和使用该蒸镀装置的蒸镀方法。本发明的蒸镀装置包括：蒸镀源，具有配置成直线状并喷射蒸镀材料的多个喷射喷嘴；以及基板固定部，将基板固定成与上述多个喷射喷嘴平行，上述多个喷射喷嘴包括中央喷射喷嘴和一对外侧喷射喷嘴，该蒸镀装置满足以下的公式(1)和公式(2)。在公式(1)和公式(2)中，L1是多个喷射喷嘴与基板的距离(mm)。L2是上述中央喷射喷嘴与上述外侧喷射喷嘴的距离(mm)。θ是基板的表面与外侧喷射喷嘴的开口面所成的角的角度(°)。L1/2L2≤tanθ≤L1/L2···(1)；60°≤θ≤70°···(2)。 | ||
| 搜索关键词： | 喷射喷嘴 蒸镀装置 基板 蒸镀 基板固定部 膜厚均匀性 基板固定 蒸镀材料 开口面 蒸镀膜 蒸镀源 直线状 喷射 平行 阴影 配置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀源，具有配置成直线状并喷射蒸镀材料的多个喷射喷嘴；以及基板固定部，将基板固定成与所述多个喷射喷嘴平行，所述多个喷射喷嘴包括：中央喷射喷嘴，具有与所述基板平行的开口面；以及一对外侧喷射喷嘴，配置成相对于所述中央喷射喷嘴左右对称，具有朝向外侧倾斜的开口面，所述蒸镀装置满足以下的公式(1)和公式(2)：L1/2L2≤tanθ≤L1/L2···(1)60°≤θ≤70°···(2)在所述公式(1)和所述公式(2)中，L1是所述基板固定于所述基板固定部时的所述多个喷射喷嘴与所述基板的距离，L1的单位是mm；L2是所述中央喷射喷嘴与所述外侧喷射喷嘴的距离，L2的单位是mm；θ是所述基板固定于所述基板固定部时的所述基板的表面与所述外侧喷射喷嘴的开口面所成的角的角度，θ的单位是°。
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