[发明专利]一种多通道电阻测试系统及其测试方法在审
申请号: | 201811456931.7 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109283395A | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 吕越;高波;伍文涛;王镇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01R27/08 | 分类号: | G01R27/08;G01R1/04 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种多通道电阻测试系统及其测试方法,所述系统包括:样品支撑结构,用于放置N个待测试样品,N个待测试样品依次串联并引出2N+2个引出端;多通道切换开关控制模块,包括N个正电压端控制开关及N个负电压端控制开关,用于根据测试选择信号控制对应开关闭合,以从N个待测试样品中选出一与测试选择信号对应的实际测试样品;电流源,用于为N个串联的待测试样品提供恒定电流;数据读取模块,用于读取实际测试样品两端的电压差值;主控模块,用于向各开关发送所述测试选择信号。通过本发明解决了采用现有测试方法进行Tc值测试时,因引入热负载导致降温缓慢,同时因手动切换引线导致测试耗时较长的问题。 | ||
搜索关键词: | 测试样品 测试选择信号 测试 电阻测试系统 多通道 多通道切换开关 读取 数据读取模块 恒定电流 开关闭合 控制模块 手动切换 样品支撑 依次串联 正电压端 主控模块 电流源 负电压 热负载 引出端 串联 耗时 发送 引入 | ||
【主权项】:
1.一种多通道电阻测试系统,其特征在于,所述测试系统包括:样品支撑结构,用于放置N个待测试样品,N个所述待测试样品依次串联,同时引出(2N+2)个引出端;其中(2N+2)个所述引出端包括:于N个串联的所述待测试样品两端引出的一正电流引出端及一负电流引出端,同时于每一所述待测试样品两端引出的一正电压引出端及一负电压引出端;N为大于等于2的正整数;多通道切换开关控制模块,包括N个正电压端控制开关及N个负电压端控制开关,其中N个所述正电压端控制开关的第一连接端分别与N个所述正电压引出端一一对应电连接,其第二连接端彼此相连以作为所述多通道切换开关控制模块的正电压输出端,其控制端接入所述测试选择信号;N个所述负电压端控制开关的第一连接端分别与N个所述负电压引出端一一对应电连接,其第二连接端彼此相连以作为所述多通道切换开关控制模块的负电压输出端,其控制端接入所述测试选择信号;所述多通道切换开关控制模块用于根据所述测试选择信号控制对应的正电压端控制开关及负电压端控制开关闭合,以从N个所述待测试样品中选出一与所述测试选择信号对应的实际测试样品;电流源,连接于所述正电流引出端及所述负电流引出端之间,用于为N个串联的所述待测试样品提供恒定电流;数据读取模块,连接于所述正电压输出端和所述负电压输出端,用于读取所述实际测试样品两端的电压差值,以通过所述电压差值及恒定电流值计算所述实际测试样品的电阻值;主控模块,连接于N个所述正电压端控制开关及N个所述负电压端控制开关的控制端,用于向N个所述正电压端控制开关及N个所述负电压端控制开关发送所述测试选择信号。
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