[发明专利]一种晶圆清洗装置及清洗方法在审
| 申请号： | 201811458538.1 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109304318A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 俞力洋 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供的晶圆清洗装置，包括：清洗腔、旋转机构、清洗液喷嘴、至少两个晶圆盒驱动装置和至少两个晶圆盒干燥气喷嘴；所述旋转机构，设置在所述清洗腔内，所述旋转机构包括驱动器和旋转盘，所述旋转盘设置在所述驱动器上，所述驱动器驱动所述旋转盘旋转；所述清洗液喷嘴与所述晶圆盒驱动装置均固定设置在所述旋转盘上，所述晶圆盒驱动装置用于驱动晶圆盒自转；所述晶圆盒固定设置在所述晶圆盒驱动装置上。通过在所述旋转盘上设置晶圆盒驱动装置，以驱动所述晶圆盒自转，从而使所述晶圆盒与所述清洗液喷嘴的相对发生改变，这样，所述清洗液喷嘴能够使待清洗晶圆与晶圆盒接触的区域被有效的清洗，使待清洗晶圆清洗均匀，从而提高晶圆的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆盒 驱动装置 清洗液喷嘴 旋转盘 驱动器 旋转机构 清洗 固定设置 清洗腔 驱动 自转 晶圆 晶圆清洗装置 晶圆清洗 清洗效果 清洗装置 干燥气 喷嘴 种晶 盘旋 申请 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：清洗腔；旋转机构，设置在所述清洗腔内，所述旋转机构包括驱动器和旋转盘，所述旋转盘设置在所述驱动器上，所述驱动器驱动所述旋转盘旋转；清洗液喷嘴，设置在所述旋转盘的中心，并与一清洗液管路相连通，用于向晶圆喷洒清洗液；至少两个晶圆盒驱动装置，以所述清洗液喷嘴为中心，对称设置在所述旋转盘上，用于驱动晶圆盒自转；至少两个晶圆盒，设置在所述晶圆盒驱动装置上。
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