[发明专利]一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置

摘要

本发明公开了一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，包括卷绕镀膜设备本体，所述卷绕镀膜设备本体的内部位于镀膜鼓的表面等角度设有六组磁控溅射腔室，且卷绕镀膜设备本体的内部位于每两组磁控溅射腔室之间均设有真空腔室，所述真空腔室与磁控溅射腔室之间设有溢出口，且溢出口内安装有单向阀，所述真空腔室的外侧安装有真空泵，且真空泵的进气端与真空腔室的抽气口连接固定，所述真空泵的出气端通过管道固定连接有气体净化装置。该装置结构设计简单合理，操作方便，有效的防止杂气溢出到其他腔室，保证卷绕镀膜设备使用时的真空度，同时便于对杂气进行处理，安全稳定，适用范围广，有利于推广和普及。

主权项

1.一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，包括卷绕镀膜设备本体(1)，其特征在于：所述卷绕镀膜设备本体(1)的内部位于镀膜鼓的表面等角度设有六组磁控溅射腔室(2)，且卷绕镀膜设备本体(1)的内部位于每两组磁控溅射腔室(2)之间均设有真空腔室(3)，所述真空腔室(3)与磁控溅射腔室(2)之间设有溢出口(4)，且溢出口(4)内安装有单向阀(5)，所述真空腔室(3)的外侧安装有真空泵(7)，且真空泵(7)的进气端与真空腔室(3)的抽气口(6)连接固定，所述真空泵(7)的出气端通过管道固定连接有气体净化装置(8)。