[发明专利]一种低温漂的混合表面等离激元加速度计有效
| 申请号： | 201811464465.7 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109633204B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 张彤;陆士明;张晓阳;刘怡然;唐杰 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;G02B5/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 吴飞 |
| 地址： | 210088 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种低温漂的混合表面等离激元加速度计，包括可调谐等离激元定向耦合器、柔性表面等离激元波导和位于柔性表面等离激元波导表面的加速度质量块，可调谐等离激元定向耦合器包括上支等离激元波导、用于输入输出光学信号的下支等离激元波导、以及设置于下支等离激元波导上的调制电极，上支等离激元波导两端与弯曲后的柔性表面等离激元波导两端分别连接、构成表面等离激元波导环形谐振腔，该表面等离激元波导环形谐振腔与可调谐等离激元定向耦合器所在平面垂直。利用二氧化硅基可调谐表面等离激元定向耦合器和柔性表面等离激元波导相反的热光特性可有效抑制谐振腔谐振频率的温度波动性，且在最佳匹配条件下，有望实现谐振频率的零温漂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 混合 表面 离激元 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种低温漂的混合表面等离激元加速度计，其特征在于，包括可调谐等离激元定向耦合器、柔性表面等离激元波导和位于柔性表面等离激元波导表面的加速度质量块，该加速度质量块用于感应竖直方向上的加速度、增加加速度计的检测精度；所述可调谐等离激元定向耦合器包括上支等离激元波导、用于输入输出光学信号的下支等离激元波导、以及设置于下支等离激元波导上用于调节定向耦合器耦合系数的调制电极，所述上支等离激元波导两端与弯曲后的柔性表面等离激元波导两端分别连接、构成表面等离激元波导环形谐振腔，该环形谐振环与可调谐等离激元定向耦合器所在平面垂直。
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