[发明专利]一种电镀金属膜在线检测结构和检测方法有效
| 申请号： | 201811464495.8 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109540973B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 姜理利;王冬蕊 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 吴海燕 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电镀金属膜在线检测结构和检测方法，通过测试结构的微波参数S21及机械谐振频率，实现电镀金属的材料参数应力、电导率、弹性系数的在线测试，检测结构采用表面牺牲层工艺制作，包括了共面波导传输线输入输出端，电感结构、介质层，金属膜空气桥、金属膜悬臂梁，衬底结构；其中，电感结构和悬臂梁结构采用电镀的方法实现，是具有一定厚度的金属结构。本发明的检测结构和检测方法，可以有效地在线检测电镀金属膜的参数，提升生产效率及成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电镀 金属膜 在线 检测 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电镀金属膜在线检测结构，其特征在于，包括衬底(1)，衬底(1)上设有CPW信号输入端(21)、CPW信号输出端(22)、CPW信号中段(23)、CPW上地线(24)、CPW下地线(25)；所述CPW信号输入端(21)、CPW上地线(24)、CPW下地线(25)形成CPW输入端，所述CPW信号输出端(22)、CPW上地线(24)、CPW下地线(25)形成CPW输出端；衬底(1)上还包括金属膜悬臂梁(3)、电感(4)、金属膜空气桥(5)和锚区(6)；所述电感(4)的一端与CPW信号输入端(21)相连，另一端通过锚区(6)与金属膜空气桥(5)相连；所述金属膜空气桥(5)的一端通过锚区(6)与电感(4)相连，另一端通过锚区(6)与CPW信号中段(23)相连；所述金属膜悬臂梁(3)一端通过锚区(6)与CPW信号中段(23)相连；所述金属膜悬臂梁(3)与CPW信号输出端(22)形成电容结构。
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