[发明专利]一种太阳能电池片用硅片的背表面的钝化方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池片用硅片的背表面的钝化方法，包括以下步骤：S1前处理；S2表面热氧化：对经前处理后的硅片，通过正常氨气预处理，第一层镀膜和第二层镀膜结束后，进行氢气等离子沉积；S3后处理，所述前处理包括表面制绒、扩散制结、周边刻蚀和去磷硅玻璃清洗，所述后处理包括沉积减反射膜、印刷电极和烧结，所述氨气预处理是利用通入氨气，经高频店里后对硅片表面进行预处理；其中氨气预清洗参数设置为：沉积温度300‑400℃，功率为4200‑5000W，氨气流量为4‑6l/min,压力1600‑1700mTor,占空比4:35ms,清洗时间10‑18s。该太阳能电池片用硅片的背表面的钝化方法，能够提供良好的钝化效果，大大提升了电池的性能。

主权项

1.一种太阳能电池片用硅片的背表面的钝化方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、前处理；S2、表面热氧化：对经前处理后的硅片，通过正常氨气预处理，第一层镀膜和第二层镀膜结束后，进行氢气等离子沉积；S3、后处理。