[发明专利]激光晶化装置在审
| 申请号： | 201811470485.5 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109872961A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 三宫暁史;李惠淑;柳济吉;韩圭完;崔银善 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 李盛泉;孙昌浩 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光晶化装置。根据本发明的实施例的激光晶化装置包括：激光发生器，发生激光束形态的至少一个输入光；光学系统，将所述输入光转换为至少一个输出光；以及工作台，安装被加工物，并被所述输出光照射，其中，所述光学系统包括：第一偏振旋转器，改变所述输入光的偏振状态；偏振分束器，在光路上布置于所述第一偏振旋转器的后方，并根据偏振状态将入射的光透射或反射，从而将所述输入光分支为沿第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向行进的光；以及多个镜子，将从所述偏振分束器分支后的光中沿所述第一方向行进的光反射而使其再次朝向所述偏振分束器，从而形成环路。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振分束器 晶化装置 输入光 偏振旋转器 激光 光学系统 偏振状态 输出光 行进 激光发生器 输入光转换 被加工物 方向交叉 光反射 光透射 激光束 工作台 入射 反射 照射 镜子 | ||
【主权项】：
1.一种激光晶化装置，包括：激光发生器，发生激光束形态的至少一个输入光；光学系统，将从所述激光发生器接收的所述输入光转换为至少一个输出光；以及工作台，安装被加工物，并被所述输出光照射，其中，所述光学系统包括：第一偏振旋转器，改变所述输入光的偏振状态；偏振分束器，在光路上布置于所述第一偏振旋转器的后方，并根据偏振状态将入射的光透射或反射，从而将所述输入光分支为沿第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向行进的光；以及多个镜子，将从所述偏振分束器分支后的光中沿所述第一方向行进的光反射而使其再次朝向所述偏振分束器，从而形成环路，被所述偏振分束器分支后的光中沿所述第二方向行进的光朝向所述工作台照射。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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