[发明专利]一种铝合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201811470627.8 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109338313A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 温艳玲;惠知;张学智 | 申请（专利权）人： | 河北冠靶科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/02;C22C21/14;C22C1/03;C22F1/043;C22F1/057 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 涂凤琴 |
| 地址： | 052360 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明属于材料加工技术领域，具体涉及一种铝合金靶材及其制备方法。所述的铝合金靶材，以相应原子百分比的铜、硅和稀土元素为原料，制备铝合金靶材，改善所述铝合金靶材的导电性、抗腐蚀性能和抗氧化性能。具体地，铜的加入，使所述铝合金靶材的导电性能提高，硅的加入改变所述铝合金靶材的热膨胀系数，消除薄膜中产生的压缩残余应力，从而消除膜层起包现象，改善溅射镀膜膜层的表面质量。本发明的铝合金靶材的制备方法，先以全部的铜、硅、稀土元素和部分铝混合熔融制成母合金，所述母合金的制备过程使铜、硅和稀土元素更好地与铝熔融混合，再以熔融混合好的铝‑硅‑铜‑稀土合金与剩余部分的铝熔融铸锭，以解决硅、铜难熔融及成分均匀等问题，获得成分均匀的铝合金靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 铝合金靶 制备 稀土元素 熔融 熔融混合 母合金 膜层 材料加工技术 抗腐蚀性能 抗氧化性能 热膨胀系数 原子百分比 导电性 残余应力 导电性能 溅射镀膜 稀土合金 制备过程 铸锭 薄膜 压缩 | ||
【主权项】：
1.一种铝合金靶材，其特征在于，以原子百分比计，包括：铜0.1‑0.5％、硅0.1‑0.5％和稀土元素0.01‑0.1％，余量为铝。
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