[发明专利]研磨装置用调节器在审
| 申请号： | 201811474030.0 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111055213A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 崔光洛;金泰贤 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及研磨装置用调节器，该研磨装置用调节器包括：调节盘，其用于重整研磨垫；加压部，其用于向调节盘施加轴向压力；测量部，其设置于加压部与调节盘之间，用于测量来自加压部的压力；校正部，其基于测量部测量的信号，校正来自加压部的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 调节器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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