[发明专利]一种超声喷雾沉积薄膜装置和方法

摘要

本发明公开了一种超声喷雾沉积薄膜装置和方法，装置包括支架上设置的第一导轨支架；第一导轨支架上设置第一步进电机及Y轴方向设置的第一导轨，第一步进电机可驱动第一滑块在第一导轨上进行Y轴方向位移；第一滑块上固定有第二导轨支架，第二导轨支架上设有第二步进电机和X轴方向设置的第二导轨，第二步进电机可驱动第二滑块进行X轴方向位移；第二滑块上设有伸缩杆；伸缩杆上设有储液瓶，储液瓶的瓶口设置超声波雾化片；各单元通过线路与设置于支架上的控制器连接。方法为通过在玻璃衬底上覆盖相应的钛金属掩膜板，再将前驱液雾化至已加热的玻璃衬底上得到纳米薄膜。本发明提供的装置成本低廉，适应不同薄膜前驱体，沉积薄膜形貌可控。

主权项

1.一种超声喷雾沉积薄膜装置，其特征在于，包括支架（1），支架（1）上设有第一导轨支架（21）；所述第一导轨支架（21）上设置有第一步进电机（22）及Y轴方向设置的第一导轨（23），第一导轨上设置有第一滑块（24），第一步进电机（22）驱动第一滑块（24）在第一导轨（23）上进行Y轴方向位移；所述第一滑块（24）上固定有第二导轨支架（31），第二导轨支架（31）上设置有第二步进电机（32）和X轴方向设置的第二导轨（33），第二导轨（33）上设置有第二滑块（34），第二步进电机（32）驱动第二滑块（34）进行X轴方向位移；所述第二滑块（34）上设置有伸缩杆（4）；所述伸缩杆上设置有储液瓶（5），储液瓶（5）的瓶口设置有超声波雾化片（52）；第一步进电机（22）、第二步进电机（32）和超声波雾化片（52）均通过线路与设置于支架（1）上的控制器（6）连接。