[发明专利]一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置

摘要

本发明公开了一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置，属于化学气相沉积技术领域，包括：将荧光增白剂粉料装入升华杯中，将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空，利用冷却控制器控制真空沉积室区域温度，将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，打开升华杯加热开关，设定加热温度，保持恒温，使荧光增白剂粉料在升华杯内深度蒸发，关闭放料阀和加热电源，打开真空沉积室取出加工件，将加工件放置在检测台上，用紫外线灯进行照射检测。本发明通过将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，又不破坏镀膜的保护性，通过用紫外线灯照射来检测，可以对加工产品的效果有了直观的观察。

主权项

1.一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将荧光增白剂粉料装入升华杯中，将密封环密封，将加热环固定在升华杯上，将升华杯通过连接环和真空沉积室连接，并固定，将真空沉积室和加热环连接到冷却控制器上；步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20～80℃之间；步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；步骤5：镀膜完成后，打开升华杯加热开关，并设定加热温度在310‑440℃之间；步骤6：到达设定温度后保持恒温10‑30min，使荧光增白剂粉料在升华杯内深度蒸发，在真空作用下，升华后的荧光增白剂粉料被吸入真空沉积室；步骤7：完成后，关闭加热电源，静置30min后，打开真空沉积室取出加工件；步骤8：将加工件放置在检测台上，用紫外线灯进行照射检测。