[发明专利]图像快速获取微型芯片、制备方法及图像快速获取方法

摘要

本发明提供了一种图像快速获取微型芯片及图像快速获取方法，MEMS扫描微镜上集成了图像获取单元，特别是图像获取单元设置在反射镜上，可以伴随着反射镜沿扭臂的摆动而接受外界的反射光束，并且，利用MEMS扫描微镜的摆动来实现像素的快速生成。由于MEMS扫描微镜具有快速扫描、能够获取分辨率高的图像优势，本发明的图像快速获取微型芯片能够对外界的物体进行快速扫描和图像获取，而且，相比于传统的图像获取装置中图像获取器与反射镜芯片分离的弊端，本发明有效减小了光损耗，提高了图像亮度和清晰度。

主权项

1.一种图像快速获取微型芯片，其特征在于，包括：MEMS扫描微镜，包含反射镜和扭臂；反射镜通过扭臂悬架在整个芯片中；图像获取单元，设置于反射镜中，用于获取外界的光束；并且与外界电路元件相电连，通过外界电路元件来反馈图像信号；其中，MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动，每摆动一次，向外反射光源光束，并且接收外界的反射光束。