[发明专利]一种基于光强检测的纳米间距测量装置和方法

摘要

本申请公开一种基于光强检测的纳米间距测量装置，包括谐振腔式光强检测装置，所述谐振腔式光强检测装置包括SPR传感器，所述SPR传感器由五层结构组成，分别为BK7玻璃层A、金属钛层、金属金层、待测纳米间距层和BK7玻璃层B，所述BK7玻璃层A、金属钛层、金属金层、待测纳米间距层和BK7玻璃层B依次按顺序分布固定；将所述BK7玻璃层A的两侧边分为AB边和AC边，在所述BK7玻璃层A的AB边和AC边上镀有光学反射膜，且其中AB边上的光学反射膜为高反射率膜，AC边上的光学反射膜为半反半透膜。本申请基于5层SPR结构的谐振腔式光强检测装置能够实现200nm以内的微小绝对间距的高精度检测，其可用在表面等离子体光刻技术中，还可作为近场高精度光学检测技术的补充。

主权项

1.一种基于光强检测的纳米间距测量装置，其特征是：包括谐振腔式光强检测装置，所述谐振腔式光强检测装置包括SPR传感器，所述SPR传感器由五层结构组成，第一层至第五层分别为BK7玻璃层A(1)、金属钛层(2)、金属金层(3)、待测纳米间距层(4)和BK7玻璃层B(5)，所述BK7玻璃层A(1)、金属钛层(2)、金属金层(3)、待测纳米间距层(4)和BK7玻璃层B(5)依次按顺序分布固定；将所述BK7玻璃层A(1)的两侧边分为AB边和AC边，在所述BK7玻璃层A(1)的AB边和AC边上镀有光学反射膜，且其中AB边上的光学反射膜为高反射率膜，AC边上的光学反射膜为半反半透膜。