[发明专利]微机电泵模块有效
申请号: | 201811477896.7 | 申请日: | 2018-12-05 |
公开(公告)号: | CN111271267B | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
发明(设计)人: | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;李伟铭 | 申请(专利权)人: | 研能科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B49/06 | 分类号: | F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 聂慧荃;郑特强 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种微机电泵模块,包含:一微处理器,发出一控制信号;一微机电芯片,电连接该微处理器,该微机电芯片包含:一芯片本体,为一长方形态样,具有一短边;多个微机电泵,设置于该芯片本体,且分别具有一第一电极及一第二电极;多个连接电极,设置于该芯片本体且邻近该短边,该多个连接电极分别电连接该多个微机电泵的该第一电极;以及至少一共电极,设置于该芯片本体且邻近该短边,该至少一共电极电连接该多个微机电泵的该第二电极;其中,该微处理器分别电连接该多个连接电极及该至少一共电极,以传输该控制信号至该多个微机电泵。 | ||
搜索关键词: | 微机 模块 | ||
【主权项】:
暂无信息
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