[发明专利]一种掩模工艺机台新型卡盘

摘要

本发明公开了一种掩模工艺机台新型卡盘，包括底架，底架呈圆环状设置，底架上端面固定安装有两组托盘，两组托盘关于底架的环心做中心对称分布，两组托盘规格一致，底架两侧设有夹盘，两个夹盘一端均呈V字型设置，两个夹盘规格一致，且关于底架环心做中心对称分布，两个夹盘以及两组托盘四者之间呈十字型分布，底架的内环壁固定安装有十字固定件，十字固定件两相对端部的上下端面均开设有三个按钮槽，三个按钮槽之间等距离分布，若干按钮槽中的四个内均设有按钮，本发明掩模工艺机台新型卡盘，本发明是克服现有卡盘中存在的不足，克服高速旋转中卡盘容易甩片麻烦，确保不会因为飞出掉落报废掩模板，适应范围广，安全可靠。

主权项

1.一种掩模工艺机台新型卡盘，包括底架(1)，其特征在于，所述底架(1)呈圆环状设置，所述底架(1)上端面固定安装有两组托盘(2)，两组所述托盘(2)关于底架(1)的环心做中心对称分布，两组所述托盘(2)规格一致，所述底架(1)两侧设有夹盘(3)，两个所述夹盘(3)一端均呈V字型设置，两个所述夹盘(3)规格一致，且关于底架(1)环心做中心对称分布，两个所述夹盘(3)以及两组托盘(2)四者之间呈十字型分布，所述底架(1)的内环壁固定安装有十字固定件(4)，所述十字固定件(4)两相对端部的上下端面均开设有三个按钮槽(5)，三个所述按钮槽(5)之间等距离分布，若干所述按钮槽(5)中的四个内均设有按钮(6)，两个所述夹盘(3)内部均开设有空心槽(7)，两个所述空心槽(7)的中部均固定安装有一个固定块(8)。