[发明专利]一种长寿命镍铁合金溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201811480260.8 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109267021A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 徐国进;罗俊锋;李勇军;贺昕;张巧霞;刘晓;高岩;宿晓敖;夏乾坤 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于靶材制备技术领域，具体涉及一种长寿命镍铁合金溅射靶材的制备方法及其制品。本发明通过对靶坯局部区域进行变形，降低靶材的磁导率，进而对靶材结构进行设计，增加溅射区域厚度，制备长寿命镍铁合金溅射靶材。本发明制备方法简单，可以明显增加靶材使用寿命，改善制备薄膜均匀性，提高靶材利用率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 溅射靶材 镍铁合金 长寿命 靶材 对靶 靶材使用寿命 制备技术领域 靶材利用率 薄膜均匀性 局部区域 磁导率 溅射 变形 | ||
【主权项】：
1.一种长寿命镍铁合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，在靶材溅射面的溅射区域将靶材原溅射面厚度增加0.5‑2mm，所述厚度增加区域面积大于靶材原溅射区域，且增加厚度区域的边缘与靶材原溅射区域之间呈斜坡状或圆弧状连接；所述靶材溅射面的非溅射区域为具有一定变形量的变形态；在靶材变形区域背面加工出一定尺寸的沟槽，进一步提高靶材溅射区域厚度2‑4mm。
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