[发明专利]用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置有效
| 申请号： | 201811480417.7 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109277697B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 蒋兴桥;马岩;荣宇;李东旭;陈立新 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/146 | 分类号： | B23K26/146 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 郭元艺 |
| 地址： | 110043 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属微细射流水束与高能激光束耦合加工晶圆的技术领域，特别涉及一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述在二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）。本发明加工效率高，加工质量理想，可满足微水束与激光束耦合加工工艺需求，有效提升晶圆加工工艺水平。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微水束 激光 耦合 高压 射流 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述在二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）。
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