[发明专利]基于M-Z干涉结构的古斯汉森位移型SPR传感器有效
申请号: | 201811481736.X | 申请日: | 2018-12-05 |
公开(公告)号: | CN109470661B | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 刘振超;王怡沁;何赛灵 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01N21/552 | 分类号: | G01N21/552 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 忻明年 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于M‑Z干涉结构的古斯汉森位移型SPR传感器。本发明包括激光器、偏振分光棱镜、SPR传感模块、分束镜、平面反射镜、楔形基板、偏振片、光强探测器。激光经偏振分光棱镜与平面镜组后分解为方向一致的TE与TM光,经SPR传感模块后,TM光将较TE光有一微小的古斯汉森位移。当携带传感样品折射率信息的古斯汉森位移量改变时,TM光经M‑Z干涉结构后的干涉光强将发生变化。本发明通过将微小的古斯汉森位移量精确转化为光程差,利用光强探测器探测干涉光强来反应光程差,从而可以提高对微小古斯汉森位移的检测精度与探测极限,且以TE光作为参考,可提高系统的稳定性以及信噪比。 | ||
搜索关键词: | 基于 干涉 结构 古斯汉森 位移 spr 传感器 | ||
【主权项】:
1.基于M‑Z干涉结构的古斯汉森位移型SPR传感器,包括激光器、偏振分光棱镜、SPR传感模块、分束镜、平面反射镜、楔形基板、偏振片、光强探测器,其特征在于:激光光源发出的光由偏振分光棱镜和反射镜的组合下分为独立的两束TM光和TE光,通过SPR传感模块后,将古斯汉森位移通过M‑Z干涉结构转化为光程差量,并发生干涉,干涉光通过偏振片后由光强探测器检测得干涉光强。
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