[发明专利]一种便于维护和调节的射频离子源装置有效
| 申请号： | 201811486384.7 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109755085B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 王小军;李建鹏;张天平;李兴达;张兴民;赵成仁 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J27/16 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 温子云;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了便于维护和调节的射频离子源装置，该装置中外壳的前盖和后座采用可拆分的连接方式与外壳主体固定；栅极组件与放电室配合安装后，固定于外壳的前盖；离子源供气单元固定于外壳的后座，离子源供气单元的气路接头伸入放电室上开设的供气孔，对放电室供气；线圈通过可调线圈支架组件缠绕于放电室外壁，可调线圈支架组件固定于外壳的后座，且高度可调；线圈端部通过穿壳绝缘组件穿出外壳；可调线圈支架组件与线圈接触的部分采用绝缘材料。本发明线圈位置可调，方便找到不同规格线圈与放电室的最佳匹配位置，而且射频离子源进气部分容易拆卸，方便实现对栅极组件等耗材的维护清洗更换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 维护 调节 射频 离子源 装置 | ||
【主权项】：
1.一种便于维护和调节的射频离子源装置，其特征在于，包括：外壳、栅极组件(1)、放电室(9)、离子源进气单元、可调线圈支架组件和线圈(10)；所述外壳的前盖(2)和后座(5)采用可拆分的连接方式与外壳主体固定；栅极组件(1)与放电室(9)配合安装后，固定于外壳的前盖(2)；离子源供气单元固定于外壳的后座(5)，离子源供气单元的气路接头伸入放电室上开设的供气孔(9‑1)，对放电室供气；线圈(10)通过可调线圈支架组件缠绕于放电室外壁，可调线圈支架组件固定于外壳的后座(5)，且高度可调；线圈端部通过穿壳绝缘组件(4)穿出外壳；可调线圈支架组件与线圈接触的部分采用绝缘材料。
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