[发明专利]半导体装置及半导体结构有效

专利信息
申请号: 201811486774.4 申请日: 2018-12-06
公开(公告)号: CN110010680B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 韦维克;陈柏安 申请(专利权)人: 新唐科技股份有限公司
主分类号: H01L29/778 分类号: H01L29/778;H01L29/423
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 王涛;任默闻
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明实施例提供一种半导体装置及半导体结构,上述半导体装置包括基板、第一III‑V族化合物层、第二III‑V族化合物层、源极、漏极和栅极堆叠结构;第一III‑V族化合物层设置于上述基板上;第二III‑V族化合物层设置于第一III‑V族化合物层上;源极和漏极设置于第二III‑V族化合物层的相对侧边界上;栅极堆叠结构设置于第二III‑V族化合物层上,栅极堆叠结构包括第一栅极和第二栅极,第一栅极设置于第二III‑V族化合物层上;第二栅极设置于第一栅极上且与第一栅极电性绝缘,第二栅极电性耦接至源极。上述半导体装置可降低半导体装置的漏电。
搜索关键词: 半导体 装置 结构
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,包括:一基板;一第一III‑V族化合物层,设置于所述基板上;一第二III‑V族化合物层,设置于所述第一III‑V族化合物层上;一源极和一漏极,设置于所述第二III‑V族化合物层的相对侧边界上;以及一栅极堆叠结构,设置于所述第二III‑V族化合物层上,其中所述栅极堆叠结构包括:一第一栅极,设置于所述第二III‑V族化合物层上;以及一第二栅极,设置于所述第一栅极上且与所述第一栅极电性绝缘,其中所述第二栅极电性耦接至所述源极。
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