[发明专利]高性能靶材用多主元合金材料及其制备方法

摘要

高性能靶材用多主元合金材料及其制备方法，属于金属材料及其制备领域。多主元合金的成分为CexCoCrCuFeMnyZrz，其中0.1≤x≤0.4；0.1≤y≤1.3；0.1≤z≤1.3；0.01x/(x+y+z+4)0.10；0.01y/(x+y+z+4)0.25；0.01z/(x+y+z+4)0.25，其制备方法包括：按化学式分别称取各种原料置于球磨罐中，加入不锈钢球，在保护气体环境下将放有原料的球磨罐密封起来；将上述球磨罐置于行星式球磨机上混料；将上述混料后的粉末在保护气氛环境下装入石墨模具，放电等离子烧结即得所需多主元合金材料。本发明方法制备的多主元合金材料成分与原料配比成分一致；升降温速度快、加热效率高，且烧结过程中保持一定压力，最大限度的提高了合金的致密度，减少了材料的空隙；该方法工艺简单、易于操控、节能环保，可制备出高纯高致密的合金靶材。

主权项

1.高性能靶材用多主元合金材料的制备方法，其特征在于具体步骤如下：((1)按化学式CexCoCrCuFeMnyZrz的计量比分别称取二氧化铈和各种纯金属粉末，其中0.1≤x≤0.4；0.1≤y≤1.3；0.1≤z≤1.3；0.01

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