[发明专利]导电性高分子组合物、覆盖品及图案形成方法

摘要

本发明提供一种导电性高分子组合物，其能够适用于过滤性及在电子束抗蚀剂上的平坦膜的成膜性良好，基于低表面电阻率(Ω/□)的性质而在电子束描绘工序中也表现出优良的抗静电能力，描绘后的使用H2O或碱性显影液的剥离性也优异的电子束抗蚀剂描绘用抗静电膜。所述导电性高分子组合物的特征在于，含有下述(A)、(B)成分：(A)具有两种以上下述通式(1)所表示的重复单元的聚苯胺类导电性高分子；(B)具有下述通式(2)所表示的重复单元，重均分子量在1,000～500,000的范围的掺杂体聚合物。[化学式1][化学式2]

主权项

1.一种导电性高分子组合物，其特征在于，含有下述(A)、(B)成分：(A)具有两种以上下述通式(1)所表示的重复单元的聚苯胺类导电性高分子；(B)具有下述通式(2)所表示的重复单元，重均分子量在1,000～500,000的范围的掺杂体聚合物，[化学式1]式中，R^A1～R^A4各自独立地表示可具有杂原子的碳原子数为1～20的直链状、支链状或环状的一价烃基、氢原子、卤素原子中的任意一种；此外，R^A1与R^A2、或R^A3与R^A4可相互结合而形成环；a为0＜a＜1.0，[化学式2]式中，R^B1为氢原子或甲基，R^B2为单键、酯基、或可具有醚基、酯基中的任意一种或这两种的碳原子数为1～12的直链状、支链状、环状的烃基中的任意一种，Z为单键、亚苯基、亚萘基、酯基中的任意一种，b为0＜b≤1.0，s为0或1的整数。