[发明专利]一种基于微型真空泵测量惰性气体抽速的装置及方法在审
| 申请号： | 201811488521.0 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109751233A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 郭美如;董猛;孙雯君;李刚;裴晓强;任正宜;管保国 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | F04B51/00 | 分类号： | F04B51/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 仇蕾安;付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微型真空泵测量惰性气体抽速的装置及方法，装置包括气体微流量源、测试罩、真空抽气系统、活性气体抽气系统、磁悬浮转子真空计及待测微型真空泵；气体微流量源用于提供微流量惰性气体；真空抽气系统用于对测试罩内抽真空；活性气体抽气系统用于抽出活性气体，且抽速比待测微型真空泵的抽速大104倍，同时对惰性气体无抽速；真空抽气系统预先对测试罩内抽真空，在测试过程中活性气体抽气系统与待测微型真空泵一起抽出测试罩中的气体，并由磁悬浮转子真空计测量动态平衡下的测试罩内的气体压力。本发明可以实现微型真空泵对惰性气体抽速的精确测量，且方法简单可行，易于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 微型真空泵 抽速 活性气体 真空抽气系统 测试 抽气系统 惰性气体 测量惰性气体 磁悬浮转子 气体微流量 抽真空 真空计 测量 抽出 测试过程 气体压力 动态平衡 微流量 速比 | ||
【主权项】：
1.一种基于微型真空泵测量惰性气体抽速的装置，其特征在于，包括气体微流量源、测试罩、真空抽气系统、活性气体抽气系统、磁悬浮转子真空计及待测微型真空泵；所述气体微流量源用于提供微流量惰性气体；真空抽气系统用于对测试罩内抽真空；活性气体抽气系统用于抽出活性气体，且抽速比待测微型真空泵的抽速大104倍，同时对惰性气体无抽速；气体微流量源通过管路与测试罩连接，真空抽气系统通过管路与测试罩连接，预先对测试罩内抽真空；待测微型真空泵通过管路与测试罩连接；活性气体抽气系统通过管路与测试罩连接，在测试过程中活性气体抽气系统与待测微型真空泵一起抽出测试罩中的气体，并由磁悬浮转子真空计测量动态平衡下的测试罩内的气体压力。
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