[发明专利]图案的形成方法及形成装置有效
| 申请号： | 201811490729.6 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109895493B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 黑宫未散;石川明弘 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | B41F16/00 | 分类号： | B41F16/00;B01D19/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供图案的形成方法及形成装置，能够通过使残存于转印材料内的微细气泡减少，并抑制在向模具的图案完全地填充转印材料的时机之前完成了按压的情况下残存于模具的图案内的气泡，由此提高转印精度。其特征在于，具有：向模具的图案填充转印材料的工序A；以及将填充于所述图案的所述转印材料转印到被转印体的工序B，在所述工序A中，向所述转印材料施加超声波振动。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种图案的形成方法，其特征在于，具有：向模具的图案填充转印材料的工序A；以及将填充于所述图案的所述转印材料转印到被转印体的工序B，在所述工序A中，向所述转印材料施加超声波振动。
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