[发明专利]压力传感器结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201811490882.9 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109580077B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 刘斌;范亚明;朱璞成;陈诗伟;刘芹篁;黄蓉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L1/18;G01L19/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发;王锋 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压力传感器结构及其制作方法。所述压力传感器结构采用背压式倒装焊接结构，包括基座、盖帽和压敏组件等，所述压敏组件被封装于基座与盖帽之间的封装区域内，所述基座上设置有导电图形，所述压敏组件的电信号经所述导电图形引出至所述封装区域外部。本发明提供的压力传感器结构的传感精度高，可靠性好，适用于绝大部分非腐蚀性环境。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器结构，其特征在于包括基座、盖帽和压敏组件，所述压敏组件被封装于基座与盖帽之间的封装区域内，所述基座上设置有导电图形，所述压敏组件的电信号经所述导电图形引出至所述封装区域外部。
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