[发明专利]一种金属螺旋微纳结构的制备方法有效
| 申请号： | 201811490931.9 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109375477B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;王天堃 | 申请（专利权）人： | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16;C23C14/30;C23C14/18;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 528458 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及微纳结构制备领域，具体涉及一种金属螺旋微纳结构的制备方法，采用涂敷光刻胶，再用电子束刻蚀，最后显影定影的方法制备金属螺旋结构。制备过程只需将写场对准一次，分别曝光四个区域，且只需要蒸镀一次就可以制备出金属螺旋型结构。该结构四周都由光刻胶包围着，可以起到保护金属螺旋微纳结构的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 螺旋 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属螺旋微纳结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：准备玻璃基底(100)：准备ITO玻璃基底(100)并清洗吹干；涂覆光刻胶：用甩胶机在所述基底(100)的表面甩两层光刻胶；电子束曝光结构图形：用图形发生器设计矩形周期阵列结构，所述矩形周期阵列结构的每个单元结构是由第一矩形(1)、第二矩形(2)、第三矩形(3)和第四矩形(4)以及第五区域(5)构成，所述第一矩形(1)、第二矩形(2)、第三矩形(3)和第四矩形(4)首尾垂直相连，构成矩形环，所述每个单元结构除过矩形环的部分为第五区域(5)；设计好图形之后，用扫描电子显微镜依次曝光第一矩形(1)、第二矩形(2)、第三矩形(3)和第四矩形(4)，对不同区域曝光的深浅不同；显影定影：用正胶显影定影液对曝光后的基底(100)进行浸泡处理；蒸镀金属：采用电子束真空蒸发镀膜仪垂直蒸镀金属材料(103)；显影定影：用负胶显影定影液对曝光后的基底(100)进行浸泡处理。
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