[发明专利]一种用于Micro-LED巨量转移的拾取结构及转移方法在审
| 申请号： | 201811491654.3 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109599463A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 崔成强;赖韬;杨冠南;刘强;陈新 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 刘羽波;资凯亮 |
| 地址： | 510006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于Micro‑LED巨量转移的卷带式拾取结构，拾取结构是多层卷带式结构，分为三层，包括保护膜层、临时键合胶层和高分子透明薄膜拉伸层；临时键合胶层为中间层；保护膜层覆盖在临时键合胶层的粘合面；临时键合胶层设置在高分子透明薄膜拉伸层的表面；临时键合胶层用于粘取晶圆上的芯片。本发明提供一种用于Micro‑LED巨量转移的拾取结构及转移方法，利用多层卷带式拾取结构和精准团案化激光照射实现Micro‑LED的巨量转移和精准放置。 | ||
| 搜索关键词： | 临时键合 胶层 拾取 卷带式 保护膜层 透明薄膜 拉伸层 多层 激光照射 粘合面 中间层 案化 晶圆 三层 芯片 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种用于Micro‑LED巨量转移的卷带式拾取结构，其特征在于，拾取结构是多层卷带式结构，分为三层，包括保护膜层、临时键合胶层和高分子透明薄膜拉伸层；所述临时键合胶层为中间层；所述保护膜层覆盖在临时键合胶层的粘合面；临时键合胶层设置在高分子透明薄膜拉伸层的表面；临时键合胶层用于粘取晶圆上的芯片。
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