[发明专利]一种太阳能电池片的背抛光工艺

摘要

本发明公开了一种太阳能电池片的背抛光工艺，该背抛光工艺包括以下步骤：硅片抛光前预处理；硅片背面抛光；丝网印刷与烘干；该背抛光工艺中使用PECVD法来生长氮化硅薄膜，能够对非抛光面实现更好的保护；依次使用碱液和酸液对硅片进行抛光，大大提高了硅片抛光质量，使得浸泡抛光效果更好，减小硅片受损的概率；刻蚀液能有效的将电池背面的绒面腐蚀掉，并形成平整的镜面结构，达到均匀抛光的效果，提高硅片对光的反射率和吸收率；该背面抛光硅电池的硅片背表面平整光亮，入射到硅片背表面的光子可以只反射一个方向，增加了反射光的能量，激发更多的电子空穴对，提高电池片的电流，提高了电池片的效率。

主权项

1.一种太阳能电池片的背抛光工艺，其特征在于，该背抛光工艺包括以下步骤：(1)硅片抛光前预处理；(2)硅片背面抛光；(3)丝网印刷与烘干。